洁净室静电的预防以及处理方法

洁净室在许多行业是必不可少的，尤其是在微电子工业方面有着严格的要求，例如生产较高档的电子元器件就必须要有洁净的工作环境，有关检测部门在检测时也需要有洁净的工作环境来满足其功能。为了使这个洁净环境能满足生产、检测等要求，我们必须克服一个不容忽视的因素，那就是静电。

在洁净室里生产的各类电器元器件，基本上都需要防静电，因为生产高性能要求的产品时，若有静电吸附，被吸附的微尘就成了击穿中心，就会使材料的绝缘特性下降等。元器件、设备、甚至墙面或地板上都可能随时产生静电荷，有了静电荷就有了静电吸附的现象，导致洁净室的洁净度的下降。同时，洁净度下降后，空气中的微粒数量增加，这样更加剧了静电吸附现象的发生。

因此洁净室在关注污染控制的同时也应注意防止静电，下面就从3方面来述说一下静电的防止方法。

1、防止洁净室里产生静电

我们必须在设计和采用材料时就选用不易产生静电，或产生静电能迅速泄漏的材料。在以往的设计中我们为了使静电电荷有迅速逃逸的通路，往往只注重对地板的作用，即采用防静电地板来消除静电。并且只把系统电阻值限制在105—108欧姆之间来作为衡量防静电的标准，目前看来是远远不够的。

现在欧美、日本等国家在设计洁净室时已经不局限于防静电地板了，对洁净室隔断、墙壁及洁净的结构系统等都考虑在内。目前在设计时我们也会充分考虑到防静电的要求，如采用喷涂静电涂料、防静电蜡等来作为辅助措施或补救方法来克服静电。使洁净室不产生或少产生静电。

2、利用洁净室的空气、温湿度来控制

我们在设计洁净室时一般利用其固有的条件来消除静电。因为空气湿度在RH50%左右或温度在23℃左右条件下，其形式的空气导电会有良好的防静电环境。设计条件允许时尽量满足靠拢它。采用离子发生器也可消除静电和防止带静电等。

3、消除人体带电

进入洁净室的人员必须穿防静电洁净服、穿戴防静电手套，穿防静电鞋等来消除静电。运输周转中的工具如小车，箱子也应采用防静电的产品。

静电放电在很多情况下是我们所不希望的，它在具有易燃易爆气体的场所极易导致危险的火灾。而且洁净室内的静电对产品的伤害是极大的，因此，洁净室静电的控制是不可忽视的。