洁净室，又称为无尘室或清洁室

洁净室，又称为无尘室或清洁室，是一种控制环境中污染程度的房间，用于特定工业领域如半导体制造、制药、精密机械和电子等。洁净室的进出风过滤系统是维持其洁净环境的关键部分。

在洁净室内，空气需要经过HEPA（高效颗粒空气）过滤器或ULPA（超低穿透率空气）过滤器进行净化。这些高效的空气过滤器能够捕捉至少99.97%（对于HEPA）甚至99.999%（对于ULPA）直径为0.3微米的颗粒。通过这样的过滤系统，洁净室内的空气中的尘埃、细菌和其他污染物被大幅度降低，从而达到所需的洁净等级。

进出风过滤系统的工作原理基于强制空气循环。首先，外部空气通过预过滤器去除较大的颗粒物，然后进入空调箱中的HEPA/ULPA过滤器进行深度净化。净化后的空气被送入洁净室内部，并通过均匀分布的出风口流过整个空间，带走可能产生的微小污染物。同时，洁净室内的空气压力通常保持高于相邻区域的压力，以防止未经过滤的空气流入。

为了维护洁净室的洁净度，除了高效的过滤系统外，还需要考虑空气流向和流速的控制。空气流动通常是层流状态，即空气以单一方向平行流动，减少涡流和乱流的产生，从而降低污染物在空间内的扩散。此外，洁净室内的温度、湿度也需要严格控制，因为这两个因素也会影响洁净度和空气流动的特性。

洁净室的进出风过滤系统还需要定期维护和检测，以确保其运行效率和效果。这包括更换或清洁过滤器、检查系统的密封性以及监测洁净室内的颗粒计数和压力差异等。通过这些措施，可以保证洁净室长期稳定地提供所需的洁净环境。