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百级无尘室和千级无尘室的区别有哪些?

发布日期:2024-09-02 19:08浏览次数:

百级无尘室(ISO Class 5)和千级无尘室(ISO Class 6)之间的主要区别在于它们所能达到的洁净度等级、粒子浓度限制以及相应的设施配置。以下是两者的详细区别:1. 洁净度等级•百级无尘室:根据ISO 14644-1标准,百级无尘室对应的等级为ISO Class 5(原FS 209E中的Class 100),表示每立方米空气中大于等于0.5微米的粒子数不超过3520个。•千级无尘室:千级无尘室对应的等级为ISO Class 6(原FS 209E中的Class 1000),表示每立方米空气中大于等于0.5微米的粒子数不超过35200个。2. 粒子浓度限制•百级无尘室:在静态条件下,每立方米空气中大于等于0.5微米的粒子数不超过3520个。而在动态条件下,这个数字会有所增加,但仍然需要控制在一个非常低的水平。•千级无尘室:同样在静态条件下,每立方米空气中大于等于0.5微米的粒子数不超过35200个。动态条件下,粒子浓度也会相应增加,但比百级无尘室要宽松一些。3. 空气处理系统•百级无尘室:通常使用层流(Laminar Flow)系统,确保空气以均匀的速度和方向流动,有效地去除粒子。层流系统能够最大限度地减少空气中的涡流和沉积现象。•千级无尘室:可以使用湍流(Turbulent Flow)系统,虽然效率略低于层流系统,但仍能有效控制粒子浓度。湍流系统通过高速循环空气来保持一定的洁净度。4. 过滤器类型•百级无尘室:使用高效空气过滤器(HEPA)或超高效空气过滤器(ULPA),HEPA过滤器可以去除99.99%以上的0.3微米以上的粒子,而ULPA过滤器则能去除99.999%以上的0.12微米以上的粒子。•千级无尘室:通常也使用HEPA过滤器,但在某些情况下,可能使用效率稍低的过滤器。5. 人员进出控制•百级无尘室:人员进入时需要经过严格的更衣程序,包括穿着全套无尘服、戴帽子、口罩、手套和鞋套,并通过风淋室(Air Shower)进行净化。•千级无尘室:虽然也需要更衣和净化,但相对于百级无尘室来说,可能稍微宽松一些。6. 物料进出管理•百级无尘室:物料进出需要经过严格的净化程序,使用传递窗并确保物料表面清洁。•千级无尘室:物料进出也需要净化,但相对于百级无尘室来说,要求可能稍微宽松一些。7. 维护与管理•百级无尘室:需要更频繁的维护,包括定期更换过滤器、清洁无尘室内部、检查设备状态等。•千级无尘室:虽然也需要定期维护,但维护周期和要求可能相对宽松一些。总结百级无尘室和千级无尘室的主要区别在于洁净度等级、粒子浓度限制以及相应的设施配置。百级无尘室具有更高的洁净度要求,适用于对粒子浓度极为敏感的高精密生产环境,如半导体制造、微电子器件生产等。而千级无尘室虽然洁净度稍低,但也广泛应用于对洁净度有一定要求但不必过于严格的领域。

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